Mitutoyo Nd:YAG 激光线视频显微镜单元（VMU）
MITUTOYO / Nd:YAG Laser Line Video Microscope
Mitutoyo 三豐 Nd:YAG 激光線視頻顯微鏡單元 (VMU)
專為 Nd:YAG 激光加工系統設計的高精度視頻顯微鏡單元。將遠場校正物鏡直接耦合至 C-Mount 相機，實現緊湊、穩定的激光加工監控與對準解決方案。
針對 266nm, 355nm, 532nm 及 1064nm 激光波長進行光學優化，並內置同軸反射照明系統，確保在高功率激光環境下獲取高對比度圖像。
產品核心特點
- 針對 Nd:YAG 四條激光譜線專項光學優化。
- 支持 Mitutoyo 遠場校正物鏡，解析力卓越。
- 內置同軸反射照明，提升激光加工對比度。
- 緊湊輕量化設計，易於集成至自動化產線。
產品規格
| 参数项目 | Nd:YAG 线激光 立式三丰视频显微镜 | UV-VIS-NIR Nd:YAG 线激光立式三丰视频显微镜单元 | NUV-VIS-NIR Nd:YAG 双相机线激光立式三丰视频显微镜单元 | UV-VIS-NIR Nd:YAG 双相机线激光立式三丰视频显微镜单元 |
|---|---|---|---|---|
| 产品编号 | #89-622 | #71-017 | #71-018 | #71-019 |
| 设备型号 | 378-507 | 378-508 | 378-513 | 378-514 |
| 光学性能参数 | ||||
| 光谱范围 | 近紫外 - 可见光 - 近红外 | 深紫外 - 可见光 - 近红外 | 近紫外 - 可见光 - 近红外 | 深紫外 - 可见光 - 近红外 |
| 设计波长 (纳米) | 355、532、1064 | 266、355、523、1064 | 355、523、1064 | 226、355、532、1064 |
| 管镜放大倍率 | 1 倍 | 1 倍 | 1 倍 | 1 倍 |
| 机械与安装参数 | ||||
| 整机重量 (克) | 980 | 1300 | 2000 | 1300 |
| 相机拓展配置 | 可选 #37-044 转接件拓展双相机 | 可选 #37-044 转接件拓展双相机 | 标配双相机光路 | 可选 #37-044 转接件拓展双相机 |
| 通用配置（全系列通用） | ||||
| 光路结构 | 立式安装、亮场观测、正像成像 | |||
| 物镜安装螺纹 | M26 x 36 TPI | |||
| 相机接口 | C 型卡口 (C-Mount) | |||
| 最大传感器尺寸 | 2/3 英寸 | |||
| 兼容物镜系列 | M Plan Apo/HR/SL、M Plan NIR/NUV、M Plan UV | |||
| 生产厂商 | Mitutoyo 三丰 | |||
| 使用要求 | 整机需搭配专用附件才可正常使用 | |||
| 环保合规 | RoHS 2015 豁免；REACH 法规含 SVHC 高度关注物质 | |||
选型提示：该系列分为单相机、双相机两种机身结构，UV深紫外版本支持226/266nm短波紫外，NUV仅覆盖近紫外波段；双相机款机身重量更大，如需后期拓展双相机可直接选择单相机款搭配#37-044转接件。
核心優勢
激光線專屬優化 光學系統針對 266/355/532/1064nm 波段消色差，確保激光加工點清晰成像。
遠場校正光學 兼容 Mitutoyo M Plan Apo 系列遠場校正物鏡，消除球差，邊緣畫質銳利。
雙相機擴展 支持雙相機 VMU 選項，可同時實現高倍對準與低倍全局視野監控。
同軸照明集成 內置光纖照明接口與可調光圈，提供均勻的同軸反射照明，增強表面細節。
功能亮點
激光加工對準
在 IC 修整、薄膜去除及微焊接過程中，提供實時、高精度的激光焦點位置監控與對準。
紅外檢測應用
配合紅外相機使用，可作為紅外檢測系統，用於觀察 IC 封裝內部結構及紅外譜特性分析。
靈活的系統集成
標準 C-Mount 接口與 M26 物鏡接口，便於與現有視覺系統、運動控制平台及激光設備集成。
適用領域
- IC 接線切割與修整
- 薄膜去除與微加工
- 彩色濾光片缺陷修復
- 半導體激光劃片對準
- 紅外光譜特性分析
- 精密零件激光焊接
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