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三丰(Mitutoyo) NIR,NUV,和UV 远场校正物镜

MITUTOYO / NIR NUV UV 无盖板无限远工业物镜

Mitutoyo M Plan NIR/NUV/UV 无盖板平场复消色差无限远物镜

Mitutoyo原厂无盖板型平场复消色差无限远物镜，不针对LCD玻璃做色差补偿，专为裸晶圆、无盖板芯片激光加工场景设计，覆盖近红外、近紫外、深紫外三大光谱，5X~100X完整倍率，含标准、B增强激光、HR高分辨三类细分型号，统一匹配200mm焦距管镜。

适配266/355/532/1064全系列Nd:YAG工业激光，用于半导体晶圆划片、电路钝化膜检测、芯片激光修调；统一95mm共焦长度、M26工业标准螺纹，支持2/3英寸工业相机，全系列RoHS豁免、REACH合规。

  • 无盖板裸芯片专用光学
  • NIR/NUV/UV三光谱全覆盖
  • 5X-100X含HR高分辨/B增强款
  • 半导体激光切割对位专用

产品核心特点

  • 无盖板光学设计，无需液晶玻璃色差补偿，裸晶圆成像无偏移、无畸变。
  • 近红外、近紫外、深紫外三条产品线，匹配不同波长工业激光光源。
  • NIR-B型号强化532/1064激光透过率，适配红外激光加工设备。
  • HR高NA型号提升数值孔径，最小分辨0.39微米，微小线路高精度观测。
  • 统一95mm共焦长度，多倍率切换无需重新对焦，适配自动化产线。

产品规格

参数项目 5X NIR #46-402 10X NIR #46-403 20X NIR #46-404 50X NIR #46-405 100X NIR #46-406 50X NIR HR #56-982 20X NIR-B #89-350 50X NIR-B #89-351 100X NIR HR #56-983 10X NUV #86-176 20X NUV #46-407 50X NUV #46-408 100X NUV #46-409 50X NUV HR #86-177 10X UV #86-175 20X UV #56-320 50X UV #56-321 80X UV #56-322
产品编码 #46-402 #46-403 #46-404 #46-405 #46-406 #56-982 #89-350 #89-351 #56-983 #86-176 #46-407 #46-408 #46-409 #86-177 #86-175 #56-320 #56-321 #56-322
型号 378-822-5 378-823-15 378-824-16 378-825-17 378-826-15 378-863-5 378-867-5 378-868-5 378-864-15 378-809-5 378-817-8 378-818-8 378-819-15 378-888-6 378-844-15 378-837-8 378-838-8 378-839-5
放大倍率 5X 10X 20X 50X 100X 50X 20X 50X 100X 10X 20X 50X 100X 50X 10X 20X 50X 80X
数值孔径 NA 0.14 0.26 0.40 0.42 0.50 0.65 0.40 0.42 0.70 0.28 0.42 0.44 0.50 0.65 0.25 0.36 0.40 0.55
光谱系列 NIR近红外 NIR近红外 NIR近红外 NIR近红外 NIR近红外 NIR高分辨 NIR-B增强 NIR-B增强 NIR高分辨 NUV近紫外 NUV近紫外 NUV近紫外 NUV近紫外 NUV高分辨 UV深紫外 UV深紫外 UV深紫外 UV深紫外
适用波长(nm) 480-1800 480-1800 480-1800 480-1800 480-1800 480-1800 420-1064 420-1064 480-1800 355-620 355-620 355-620 355-620 355-620 266-620 266-620 266-620 266-620
设计激光波长 532/1064 532/1064 532/1064 532/1064 532/1064 532/1064 532/1064 532/1064 532/1064 355/532 355/532 355/532 355/532 355/532 266/532 266/532 266/532 266/532
焦距 FL(mm) 40 20 10 4 2 4 10 4 2 20 10 4 2 4 20 10 4 2.5
工作距离 WD(mm) 37.5 30.5 20 17 12 10 25.5 25.5 10 30.5 17 14.76 11 10 20 15 12 10
分辨能力(μm) 2.0 1.1 0.7 0.7 0.6 0.42 0.7 0.7 0.39 1.0 0.7 0.6 0.6 0.42 1.1 0.8 0.7 0.5
景深(μm) 14.0 4.1 1.7 1.6 1.1 0.65 1.7 1.6 0.56 3.5 1.6 1.4 1.1 0.65 4.4 2.1 1.7 0.9
2/3英寸视场(mm) 1.80 0.88 0.44 0.18 0.09 0.18 0.44 0.18 0.09 0.88 0.44 0.18 0.09 0.18 0.88 0.44 0.18 0.11
最大传感器 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3"
机械尺寸
外径(mm) 34 34 34 34 34 39 37 37 39 34 34 34 34 39 34 34 34 34
螺纹总长(mm) 57.5 64.5 75 78 83 85 69.5 69.5 85 64.5 78 80.47 84 85 75 80 83 85
重量(g) 220 250 300 350 335 450 300 315 510 255 340 350 380 500 310 330 400 380
共焦长度(mm) 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95 95
安装螺纹 M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI
环境合规
工作温湿度 -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH -5~45℃ 20-80%RH
RoHS 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免
REACH 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC
选型提示：无盖板款仅适配裸晶圆、无玻璃芯片；NIR适配1064红外激光，NIR-B强化激光透过；NUV适配355，UV适配266深紫外；HR高NA型号分辨率更高；全系仅适配200mm焦距Mitutoyo管镜。

核心优势

无盖板专用光学校正 不补偿LCD玻璃，裸半导体晶圆成像无像差、无偏移，激光对位精度更高。
三大激光光谱完整系列 近红外、近紫外、深紫外全覆盖，匹配266/355/532/1064工业Nd:YAG激光。
B增强/HR高分辨双升级款 NIR-B提升激光透射；HR增大数值孔径，最小分辨0.39微米，微小缺陷检测。
自动化设备统一规格 95mm标准共焦长度，切换倍率无需重新对焦，适配激光切割产线。

功能亮点

无限远平行光路

光路中段可加装分光、偏振、滤光元件，不改变成像距离，激光同轴视觉专用。

宽波段复消色差

单支镜头覆盖对应完整光谱，激光加工与可见光观测无需更换物镜。

M26工业通用螺纹

标准M26×36TPI，兼容Mitutoyo镜筒、激光加工设备、电动载物台。

适用领域

  • 半导体硅片激光划片、晶圆修调切割
  • 芯片钝化绝缘膜、微小线路缺陷检测
  • 266/355/532/1064激光加工对位系统
  • Mini/Micro裸芯片外观尺寸测量
  • 半导体自动化在线激光AOI设备
  • 无盖板工件高精度显微观测设备

技术数据


杭州中徠智能科技有限公司(Z-LIKE)

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