Mitutoyo VMU全系列视频显微镜单元(立式/横式/激光款/广视场明暗场)
Mitutoyo VMU为原厂1X无限远视频镜筒,用于搭配M Plan、BD Plan系列无限远物镜与工业相机搭建显微视觉系统;产品线覆盖标准VIS-NIR、激光专用NUV-VIS-NIR、VIS-NIR-SWIR短波红外、广视场明/暗场四大类别,分立式正像、横式倒像两种结构。镜筒内置同轴光纤照明通道,带可调光阑,可控制进光量无需调整相机参数,适配半导体激光加工、PCB检测、金相明暗场观测各类自动化设备。全系标配相机转接配件,兼容2/3"、APS-C工业传感器,统一标准化安装螺纹,可搭配四孔物镜转台快速切换倍率。
产品核心特点
- 标准1X无限远光路,镜筒中间可插入分光、偏振、滤波元件,不改变成像放大倍率。
- 内置一体式同轴光纤照明接口,支持8mm/1/4"光纤接头,搭配光阑自由调节通光量。
- 分立式正像、横式倒像、激光专用、广视场明暗场多款,适配不同设备机械结构与观测需求。
- 覆盖可见光、近红外、短波红外、近紫外激光多光谱,适配266/355/532/1064nm工业激光。
- 标配C-Mount转接环,广视场机型支持F口,兼容2/3"、APS-C大靶面工业相机。
产品规格参数总表
| 参数项目 | VIS-NIR 立式视频显微镜 | VIS-NIR 横式视频显微镜 | NUV-VIS-NIR 激光立式VMU | VMU Widefield VMU-HR 广视场短波红外 | VIS立式明/暗场广视场 | VIS横式明/暗场广视场 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 产品编码 | #86-799 | #89-621 | #89-622 | #23-338 | #18-652 | #18-653 |
| 内部型号 | 378-505 | 378-506 | 378-507 | 378-519 | 378-517 | 378-518 |
| 光谱适用范围 | VIS-NIR | VIS-NIR | NUV-VIS-NIR 355/532/1064nm | VIS-NIR-SWIR | VIS | VIS |
| 观测模式 | 明场Brightfield | 明场Brightfield | 明场Brightfield | 明场广视场Widefield | 明场+暗场 | 明场+暗场 |
| 成像方向 | 立式 erect正像 | 横式 inverted倒像 | 立式 erect正像 | 立式 erect正像 | 立式 erect正像 | 横式 inverted倒像 |
| 标准镜筒倍率 | 1X | 1X | 1X | 1X | 1X | 1X |
| 适用波长(nm) | - | - | - | 436 - 1800 | 436 - 656 | 436 - 656 |
| 入瞳直径(mm) | - | - | - | 16.8 | - | - |
| 兼容物镜系列 | M Plan Apo/HR/SL、G Plan Apo | M Plan Apo/HR/SL、G Plan Apo | M Plan Apo/HR/SL、M Plan NIR/NUV | M Plan Apo/HR/SL、G Plan Apo、M Plan Apo NIR | BD Plan Apo明暗场物镜 | BD Plan Apo明暗场物镜 |
| 配套附件说明 | 标配C-Mount相机转接 | 标配C-Mount相机转接 | 可选#37-044激光转C口适配器 | 集成光阑;标配C口、LED、光纤适配器,需配套附件使用 | 标配C-Mount相机转接环 | 标配C-Mount相机转接环 |
| 机械尺寸参数 | ||||||
| 整机重量(g) | 570.00 | 590.00 | 980 | 1400 | 2000 | 2150 |
| 最大适配传感器 | 2/3" | 2/3" | 2/3" | APS-C | APS-C | APS-C |
| 相机安装接口 | C-Mount | C-Mount | C-Mount | F-Mount/附赠C转接 | F-Mount/附赠C转接 | F-Mount/附赠C转接 |
| 物镜安装螺纹 | M26 x 36 TPI | M26 x 36 TPI | M26 x 36 TPI | M26 x 36 TPI | M40 x 36 TPI | M40 x 36 TPI |
| 环境合规参数 | ||||||
| 工作温湿度 | +5~40℃ 20-80%RH | +5~40℃ 20-80%RH | +5~40℃ 20-80%RH | +5~40℃ 20-80%RH | +5~40℃ 20-80%RH | |
| RoHS 2015 | 豁免 | 豁免 | 豁免 | 豁免 | 豁免 | 豁免 |
| REACH 241 | 含SVHC | 含SVHC | 含SVHC | 含SVHC | 含SVHC | 含SVHC |
页面&选型说明:产品信息来源Edmund官方页面https://www.edmundoptics.cn/f/mitutoyo-video-microscope-unit-vmu/14531/;#86-799/#89-621/#89-622现货库存,#18-653需联系订货;搭配#86-589四孔物镜转台可快速切换倍率,激光款适配355/532/1064nm晶圆加工设备,BD广视场款仅配套明暗场金相物镜。
核心优势
内置同轴光纤照明系统
机身集成光纤接口与可调光阑,直接控制进光量,无需调整相机快门增益,成像对比度更高。
多光谱多结构全覆盖
可见光/近红外/短波红外/紫外激光多款,立式/横式两种成像方向,适配各类设备布局。
广视场支持APS-C大靶面
Widefield系列适配APS-C工业相机,单次观测幅面远大于标准2/3英寸机型,提升检测效率。
全系列无限远标准通用
M26/M40双物镜螺纹,完美匹配Mitutoyo全系列无限远平场复消色差物镜。
功能亮点
1X标准无限远光路
镜筒中间预留光学插入位,可加装偏振片、分光镜、窄带滤光片,不引入额外像差。
原厂全套转接配件
所有型号标配C口转接,广视场机型兼容F口,市面主流工业相机即装即用。
激光专用定制型号
NUV激光VMU针对355/532/1064nm优化,搭配激光转接件用于晶圆切割、修调设备。适用领域
- 半导体晶圆激光划片、芯片线路修调同轴视觉设备
- PCB/FPC线路微观缺陷、线宽尺寸在线AOI检测
- Mini/Micro LED芯片尺寸分选、外观质检自动化产线
- 金属、塑胶精密小件二维尺寸测量平台
- 金相明暗场材料表面形貌分析显微镜
- 液晶盖板、MEMS器件微观观测设备
技术数据






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