三丰(Mitutoyo)视频显微镜设备(VMU)

Mitutoyo VMU全系列视频显微镜单元(立式/横式/激光款/广视场明暗场)

Mitutoyo VMU为原厂1X无限远视频镜筒,用于搭配M Plan、BD Plan系列无限远物镜与工业相机搭建显微视觉系统;产品线覆盖标准VIS-NIR、激光专用NUV-VIS-NIR、VIS-NIR-SWIR短波红外、广视场明/暗场四大类别,分立式正像、横式倒像两种结构。镜筒内置同轴光纤照明通道,带可调光阑,可控制进光量无需调整相机参数,适配半导体激光加工、PCB检测、金相明暗场观测各类自动化设备。全系标配相机转接配件,兼容2/3"、APS-C工业传感器,统一标准化安装螺纹,可搭配四孔物镜转台快速切换倍率。

  • 1X无限远平行光路视频镜筒
  • 立式/横式/激光/广视场多型号可选
  • 内置同轴光纤照明通道带可调光阑
  • 兼容M26/M40全系Mitutoyo平场物镜

产品核心特点

  • 标准1X无限远光路,镜筒中间可插入分光、偏振、滤波元件,不改变成像放大倍率。
  • 内置一体式同轴光纤照明接口,支持8mm/1/4"光纤接头,搭配光阑自由调节通光量。
  • 分立式正像、横式倒像、激光专用、广视场明暗场多款,适配不同设备机械结构与观测需求。
  • 覆盖可见光、近红外、短波红外、近紫外激光多光谱,适配266/355/532/1064nm工业激光。
  • 标配C-Mount转接环,广视场机型支持F口,兼容2/3"、APS-C大靶面工业相机。

产品规格参数总表

参数项目 VIS-NIR 立式视频显微镜 VIS-NIR 横式视频显微镜 NUV-VIS-NIR 激光立式VMU VMU Widefield VMU-HR 广视场短波红外 VIS立式明/暗场广视场 VIS横式明/暗场广视场
产品编码 #86-799 #89-621 #89-622 #23-338 #18-652 #18-653
内部型号 378-505 378-506 378-507 378-519 378-517 378-518
光谱适用范围 VIS-NIR VIS-NIR NUV-VIS-NIR 355/532/1064nm VIS-NIR-SWIR VIS VIS
观测模式 明场Brightfield 明场Brightfield 明场Brightfield 明场广视场Widefield 明场+暗场 明场+暗场
成像方向 立式 erect正像 横式 inverted倒像 立式 erect正像 立式 erect正像 立式 erect正像 横式 inverted倒像
标准镜筒倍率 1X 1X 1X 1X 1X 1X
适用波长(nm) - - - 436 - 1800 436 - 656 436 - 656
入瞳直径(mm) - - - 16.8 - -
兼容物镜系列 M Plan Apo/HR/SL、G Plan Apo M Plan Apo/HR/SL、G Plan Apo M Plan Apo/HR/SL、M Plan NIR/NUV M Plan Apo/HR/SL、G Plan Apo、M Plan Apo NIR BD Plan Apo明暗场物镜 BD Plan Apo明暗场物镜
配套附件说明 标配C-Mount相机转接 标配C-Mount相机转接 可选#37-044激光转C口适配器 集成光阑;标配C口、LED、光纤适配器,需配套附件使用 标配C-Mount相机转接环 标配C-Mount相机转接环
机械尺寸参数
整机重量(g) 570.00 590.00 980 1400 2000 2150
最大适配传感器 2/3" 2/3" 2/3" APS-C APS-C APS-C
相机安装接口 C-Mount C-Mount C-Mount F-Mount/附赠C转接 F-Mount/附赠C转接 F-Mount/附赠C转接
物镜安装螺纹 M26 x 36 TPI M26 x 36 TPI M26 x 36 TPI M26 x 36 TPI M40 x 36 TPI M40 x 36 TPI
环境合规参数
工作温湿度 +5~40℃ 20-80%RH +5~40℃ 20-80%RH +5~40℃ 20-80%RH +5~40℃ 20-80%RH +5~40℃ 20-80%RH
RoHS 2015 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免
REACH 241 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC 含SVHC
页面&选型说明:产品信息来源Edmund官方页面https://www.edmundoptics.cn/f/mitutoyo-video-microscope-unit-vmu/14531/;#86-799/#89-621/#89-622现货库存,#18-653需联系订货;搭配#86-589四孔物镜转台可快速切换倍率,激光款适配355/532/1064nm晶圆加工设备,BD广视场款仅配套明暗场金相物镜。

核心优势

内置同轴光纤照明系统

机身集成光纤接口与可调光阑,直接控制进光量,无需调整相机快门增益,成像对比度更高。

多光谱多结构全覆盖

可见光/近红外/短波红外/紫外激光多款,立式/横式两种成像方向,适配各类设备布局。

广视场支持APS-C大靶面

Widefield系列适配APS-C工业相机,单次观测幅面远大于标准2/3英寸机型,提升检测效率。

全系列无限远标准通用

M26/M40双物镜螺纹,完美匹配Mitutoyo全系列无限远平场复消色差物镜。

功能亮点

1X标准无限远光路

镜筒中间预留光学插入位,可加装偏振片、分光镜、窄带滤光片,不引入额外像差。

原厂全套转接配件

所有型号标配C口转接,广视场机型兼容F口,市面主流工业相机即装即用。

激光专用定制型号

NUV激光VMU针对355/532/1064nm优化,搭配激光转接件用于晶圆切割、修调设备。

适用领域

  • 半导体晶圆激光划片、芯片线路修调同轴视觉设备
  • PCB/FPC线路微观缺陷、线宽尺寸在线AOI检测
  • Mini/Micro LED芯片尺寸分选、外观质检自动化产线
  • 金属、塑胶精密小件二维尺寸测量平台
  • 金相明暗场材料表面形貌分析显微镜
  • 液晶盖板、MEMS器件微观观测设备

技术数据


VMU立式/横式整机尺寸图纸、内置同轴光纤照明光学原理图

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