三丰(Mitutoyo) NIR、NUV 和 UV LCD 远场校正物镜

MITUTOYO / LCD专用近红外近紫外深紫外无限远物镜

Mitutoyo LCD Plan Apo NIR/NUV/UV 液晶专用无限远校正物镜全系列

Mitutoyo原厂液晶面板专用平场复消色差无限远物镜,专门针对0.7mm、1.1mm两种LCD盖板玻璃做色差补偿,覆盖近红外NIR、近紫外NUV、深紫外UV三大光谱波段,20X/50X/100X完整倍率,搭配HR高分辨率版本,完美匹配200mm标准焦距管镜。

适配532/1064/355/266主流工业激光,用于LCD面板像素检测、半导体晶圆激光切割/修调;统一95mm共焦长度、M26工业标准螺纹,支持2/3英寸工业相机,全系列RoHS豁免、REACH合规。

  • 0.7/1.1mm盖板玻璃专用校正
  • NIR/NUV/UV三光谱可选
  • 20X-100X含高分辨HR款
  • 激光面板检测专用光路

产品核心特点

  • 出厂针对0.7/1.1mm液晶盖板单独光学补偿,穿透玻璃无畸变、无色差偏移。
  • 近红外、近紫外、深紫外三条产品线,匹配不同激光加工光源需求。
  • HR高NA型号提升数值孔径,最小分辨0.4微米,满足微小像素高精度检测。
  • 统一95mm共焦长度,多倍率切换无需重新对焦,适配自动化产线设备。

产品规格

参数项目 20X T0.7 NIR #23-598 50X T1.1 NIR #23-599 50X T0.7 NIR HR #23-600 100X T0.7 NIR #23-601 100X T0.7 NIR HR #23-602 20X T0.7 NUV #23-603 50X T0.7 NUV #23-604 20X T0.7 UV #23-605 50X T0.7 UV #23-606 20X T1.1 NIR #37-550 100X T1.1 NUV #75-048 50X T0.7 NIR #75-050
产品编码 #23-598 #23-599 #23-600 #23-601 #23-602 #23-603 #23-604 #23-605 #23-606 #37-550 #75-048 #75-050
型号 378-821-16 378-828-16 378-869-5 378-754-15 378-870-15 378-890-8 378-820-8 378-892-8 378-893-8 378-827-16 378-751-4 378-829-17
放大倍率 20X 50X 50X 100X 100X 20X 50X 20X 50X 20X 100X 50X
数值孔径 NA 0.40 0.42 0.65 0.50 0.70 0.42 0.44 0.37 0.41 0.40 0.50 0.42
适配盖板厚度T(mm) 0.7 1.1 0.7 0.7 0.7 0.7 0.7 0.7 0.7 1.1 1.1 0.7
光谱类型 近红外NIR 近红外NIR 近红外NIR高分辨 近红外NIR 近红外NIR高分辨 近紫外NUV 近紫外NUV 深紫外UV 深紫外UV 近红外NIR 近紫外NUV 近红外NIR
适用波长(nm) 480-1800 480-1800 480-1800 480-1800 480-1800 355-620 355-620 266-620 266-620 480-1800 355-620 480-1800
设计激光波长(nm) 532,1064 532,1064 532,1064 532,1064 532,1064 355,532 355,532 266,532 266,532 532,1064 355,532 532,1064
焦距 FL(mm) 10.00 4.00 4.00 2.00 2.00 10.00 4.00 10.00 4.00 10.00 2.00 4.00
工作距离 WD(mm) 20.00 17.13 9.60 12.06 9.87 16.96 14.76 14.98 12.38 19.98 11.03 17.26
分辨能力(μm) 0.7 0.7 0.4 0.6 0.4 0.7 0.6 0.7 0.7 0.7 0.6 0.7
景深(μm) 1.70 1.60 0.70 1.10 0.70 1.60 1.40 2.00 1.60 1.70 1.10 1.60
2/3英寸传感器水平视场(mm) 0.44 0.18 0.18 0.09 0.09 0.44 0.18 0.44 0.18 0.44 0.09 0.18
最大传感器规格 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 2/3" 1/2" 2/3"
机械尺寸参数
最大外径(mm) 34 34 39 34 39 34 34 34 34 34 34 34
突出螺纹长度(mm) 75.00 77.87 85.40 82.94 85.13 78.04 80.47 80.00 82.60 75.00 83.97 78.04
重量(g) 305.00 320.00 450.00 335.00 490.00 340.00 350.00 370.00 400.00 305.00 380.00 320.00
标准共焦长度(mm) 95.37 95.37 95.24 95.24 95.24 95.24 95.37 95.22 95.22 95.37 95.37 95.24
安装螺纹规格 M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI M26×36TPI
环境与合规
标定温度(℃) 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2 23±2
工作温湿度 -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH -5~+40℃,20%-80%RH
RoHS 2015 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 豁免 - -
REACH合规 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 含SVHC物质 - -
选型提示:T代表LCD盖板厚度,0.7mm适配常规液晶面板,1.1mm适配厚盖板屏幕;NIR适配532/1064红外激光,NUV适配355紫外,UV适配266深紫外;HR高NA型号分辨率更高,适合微小像素、线路缺陷观测;全系仅兼容200mm焦距Mitutoyo管镜。

核心优势

液晶盖板专用色差补偿 针对0.7/1.1mm两种LCD玻璃单独光学校正,穿透屏幕无像差、成像清晰不变形。
三光谱完整产品线 近红外、近紫外、深紫外全覆盖,匹配各类工业激光加工与面板检测光源。
HR超高分辨率可选 同倍率提升数值孔径,最小分辨0.4微米,满足MiniLED、晶圆微缺陷检测。
自动化设备通用规格 统一95mm共焦长度,设备切换倍率无需重新对焦,适配在线AOI产线。

功能亮点

无限远平行光路设计

光路中间可加装分光镜、偏振片、滤光片,不改变成像位置与清晰度,适配激光同轴视觉系统。

多波段复消色差光学

单支物镜覆盖对应完整光谱区间,激光加工与可见光观测无需更换光学元件。

工业标准M26安装螺纹

市面主流Mitutoyo镜筒、电动载物台、激光设备可直接装配,兼容性强。

适用领域

  • LCD/OLED面板像素、ITO膜缺陷检测
  • 半导体晶圆激光划片、修调、切割对位
  • Mini/Micro LED微小芯片外观观测
  • 355/266/1064nm激光加工设备
  • 平板显示自动化在线AOI设备
  • 微小元器件高精度尺寸测量

技术数据


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