三丰(Mitutoyo) 远场校正长工作距离物镜

MITUTOYO M Plan Apo 无限远长工作距离工业明视场物镜

Mitutoyo M Plan Apo 标准长工作距离平场复消色差物镜全系列

Mitutoyo M Plan Apo长工作距离物镜为行业标杆级无限远平场复消色差工业镜头，适配200mm标准管镜，无盖玻片校正设计，面向半导体晶圆、裸芯片、PCB等无盖板工件明视场检测场景开发。

覆盖1X~100X完整倍率，区分标准长工作距与HR高分辨率两条产品线；435~655nm可见光全波段复消色差，587nm基准波长；统一95mm共焦长度、M26×36TPI工业螺纹，最大支持2/3英寸相机，广泛用于激光切割、晶圆修调、元器件微观测量自动化设备。

无限远平行光路，适配200mm管镜
超长工作距离，高低差工件防碰撞
平场复消色差，全视场清晰平坦
标准/HR高分辨双规格可选
1X~100X全倍率标准化接口

产品核心特点

业界经典长工作距光学架构，牺牲镜身长度换取超大工作距离，堆叠、高低差工件无需担心物镜碰撞。
高端平场复消色差设计，红/蓝/黄三色完整色差校正，整个视场成像平坦无边缘模糊。
无限远共轭光路，光路中段可加装分光、偏振、激光滤光元件，激光同轴视觉系统首选。
无0.17mm盖玻片补偿，裸硅片、裸芯片直接成像，不会产生玻璃带来的像差偏移。
全系统一95mm共焦长度、M26标准螺纹，同台设备切换倍率无需重新对焦校准。

产品规格参数总表

型号倍率	产品编码	内部型号	规格类型	数值孔径NA	焦距FL(mm)	工作距离WD(mm)	分辨能力(μm)	景深(μm)	2/3英寸视场(mm)	重量(g)	最大外径(mm)
1X	#58-235	378-800-12	标准长工作距	0.03	200	11.0	11.0	440.0	8.80	300	31.5
2X	#46-142	378-801-12	标准长工作距	0.06	100	34.0	5.0	91.0	4.40	220	33.5
5X	#46-143	378-802-12	标准长工作距	0.14	40	36.5	2.0	14.0	1.80	230	30
5X HR高分辨	#34-247	378-787-16	HR高NA	0.21	40	25.5	1.3	6.2	1.80	285	34
7.5X	#66-383	378-807-3	标准长工作距	0.21	26.67	35.0	1.3	6.2	1.17	240	34
10X	#46-144	378-803-3	标准长工作距	0.28	20	34.0	1.0	3.5	0.88	240	30
10X HR高分辨	#58-236	378-788-15	HR高NA	0.42	20	15.0	0.6	1.55	0.88	460	34
20X 标准	#46-398	378-810-3	标准常规	0.28	10	30.5	1.0	3.5	0.44	240	34
20X 长工作距	#46-145	378-804-3	长工作距	0.40	10	20.0	0.7	1.6	0.44	270	32
50X 标准	#46-399	378-811-15	标准常规	0.42	4	20.5	0.7	1.6	0.18	280	34
50X 长工作距	#46-146	378-805-3	长工作距	0.55	4	13.0	0.5	0.9	0.18	290	34.5
50X HR高分辨	#56-982	378-863-5	HR高NA	0.65	4	10.0	0.42	0.65	0.18	450	39
10X 标准	#46-401	378-813-3	标准常规	0.55	2	13.0	0.5	0.9	0.09	290	34
100X 长工作距	#46-147	378-806-3	长工作距	0.70	2	6.0	0.4	0.6	0.09	320	30
100X HR高分辨	#56-983	378-864-5	HR高NA	0.70	2	10.0	0.40	0.60	0.09	450	39

选型提示： 1、标准长工作距款：优先推荐，超大镜物间距，适合堆叠、高低差晶圆/载带，避免工件碰撞； 2、HR高分辨率款：大幅提升数值孔径，亚微米线路、钝化膜精密检测，工作距离相应缩短； 3、全系为无盖玻片干镜，不可搭配0.17mm玻璃盖板样品； 4、必须配套200mm焦距管镜使用，统一95mm共焦、M26×36TPI螺纹。