徕卡 DM8000 M 和 DM12000 M 正置顯微鏡

DM8000 M 和 DM12000 M光学检测系统

利用 DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统更深入地了解样本，从而改进产品质量决策，并节省时间。

这些检测显微镜可对半导体和晶圆等材料进行快速、可靠的检测和分析，使您能够快速进行质量控制并检测缺陷。

查看核心优势

快速发现缺陷，改善决策 你的好处

发现隐藏的细节

发现隐藏的细节

快速检测缺陷并进行样本概览，以改进分析和决策。

优化您的工作方式

优化您的工作方式

自动化和简便的操作可最大程度减少调整需求，从而在检测过程中节省宝贵时间。

在安全可控的环境中保持用户舒适度

在安全可控的环境中保持用户舒适度

以放松的姿势工作，确保在整个检测过程中保持舒适，帮助提高工作效率。

核心功能

快速呈现结构和缺陷

检测并分析样本上的各种结构和缺陷，如划痕和污染。有一系列照明和对比方法可供选择，如明场、暗场、偏振光、微分干涉相差 (DIC)、荧光 (Fluo) 和红外 (IR)，帮助您快速可靠地进行检测。利用紫外光照明模式提高分辨率。

利用倾斜照明获得更多表面信息。结合紫外光照明模式进一步增强了对比度。

利用 Plan Fluotar 物镜（20 倍、50 倍和 100 倍）的先进暗场技术，在断裂分析过程中通过更高的对比度更快地发现缺陷。

用不同的照明和对比方法采集的晶圆表面图像，在右侧图像中可以清楚地看到污染。

明场照明

宏观概览

产品功能

快速概览样本，节省时间

使用可选的 0.7 倍宏观物镜，快速揭示材料样本中的宏观缺陷和结构。宏观物镜提供约 36 毫米的视场，可快速定位和高效筛选，从而节省您的时间。

要检测高度超过 42 毫米的高大样本，显微镜可以配备一个“材料版”入射光轴。使用该轴时，对高度较低的样本进行检测将需要一个载物台插件。

刻蚀图案的晶圆的明场图像

产品功能

通过自动化减少了调整次数

通过自动调整设置和直观的对焦操作，您可以在检测和质量控制过程中节省时间并减少错误。只需按一下按钮就可以更换物镜，照明和对比度设置也会自动调整。

电动转盘可以快速、舒适地更换物镜，减少不必要的移动，从而节省您的时间和精力。操作人员无需手动更换物镜，因此能更好地防止样本受到污染。

此外，150 倍可见光-紫外光 (VIS-UV) 物镜使您无需更换物镜即可使用所有对比方法。

操作人员无需用手来更换物镜，因此能更好地防止样本受到污染。

在改变放大倍数时无需重新定位感兴趣区域，因为电动载物台可保持视场居中。

产品功能

通过简便的操作来检查样本

简单直观的对焦功能可帮助您快速、自信地检查样本。

对于具有高反射性表面的样本，例如裸晶圆，可使用焦点搜索器轻松快速地对焦。
对于不同高度的样本，可使用垂直范围较大的内置对焦限位装置，以保护样本免遭意外损坏。
借助齐焦物镜，无需重新调焦即可轻松切换放大倍数。

产品功能

舒适地工作，提高工作效率

DM8000 M 和 DM12000 M 显微镜采用符合人体工学的设计，并提供自动化功能，让您在操作时不会感到疲劳，帮助您集中精力观察样本，尤其是在进行重复性检查时。

凭借可单独调节的人体工学目镜筒和高度可调的聚焦旋钮，您可以确保在日常检查和其他应用中在工作站获得满意的舒适度。

通过可变的观察角度可获得最佳视角，并且可以在一天中轻松多次改变工作姿势。

DM8000 M 和 DM12000 M 由具有表面电阻率的高导电性材料制成，有助于保护敏感产品免受静电损害。

产品功能

专为安全可控的环境而设计

当您需要检测任务关键型组件时，DM8000 M 和 DM12000 M 可在洁净室中使用。

具有表面电阻率的导电材料可保护您的产品免受静电损害。
封装的电动转盘专为要求苛刻的环境条件而设计。
集成的可见光和紫外光 LED 照明可降低污染风险。

对于洁净室，该显微镜的设计可优化其周围的气流，确保层流保持不受干扰。

产品功能

DM8000 M / DM12000 M 手动款

选择手动解决方案可满足以下需求：

每周对样本进行基本检查
样本通量适中
手动定位样本

DM8000 M / DM12000 M 手动款

DM8000 M / DM12000 M 电动款

产品功能

DM8000 M / DM12000 M 电动款

选择电动解决方案可满足以下需求：

每天对样本进行高阶检查
样本通量高
多位用户使用同一显微镜

产品功能

找到符合您需求的解决方案

DM8000 M 和 DM12000 M 显微镜可帮助您确保高效、快速地检测 8 英寸和 12 英寸样本。各种专用的配置可满足您的特定应用需求。

x = 标配，o = 可选，- = 不可用

找到符合您需求的解决方案

产品媒体

产品图片

DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统

DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统 — 01 / MEDIADM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统

DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统 — 02 / MEDIADM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统

明场照明 — 03 / MEDIA明场照明

明场和荧光叠加图像 — 04 / MEDIA明场和荧光叠加图像

宏观概览 — 05 / MEDIA宏观概览

更高放大倍数 — 06 / MEDIA更高放大倍数

DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统 — 07 / MEDIADM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统

操作人员无需用手来更换物镜，因此能更好地防止样本受到污染。 — 08 / MEDIA操作人员无需用手来更换物镜，因此能更好地防止样本受到污染。

在改变放大倍数时无需重新定位感兴趣区域，因为电动载物台可保持视场居中。 — 09 / MEDIA在改变放大倍数时无需重新定位感兴趣区域，因为电动载物台可保持视场居中。

DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统 — 10 / MEDIADM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统

通过可变的观察角度可获得最佳视角，并且可以在一天中轻松多次改变工作姿势。 — 11 / MEDIA通过可变的观察角度可获得最佳视角，并且可以在一天中轻松多次改变工作姿势。

DM8000 M 和 DM12000 M 由具有表面电阻率的高导电性材料制成，有助于保护敏感产品免受静电损害。 — 12 / MEDIADM8000 M 和 DM12000 M 由具有表面电阻率的高导电性材料制成，有助于保护敏感产品免受静电损害。

产品型号: DM8000 M 和 DM12000 M
产品类型: 光学检测系统
产品概述: 利用 DM8000 M 和 DM12000 M 光学检测系统更深入地了解样本，从而改进产品质量决策，并节省时间，这些检测显微镜可对半导体和晶圆等材料进行快速、可靠的检测和分析，使您能够快速进行质量控制并检测缺陷。
核心特点: 发现隐藏的细节，优化您的工作方式，在安全可控的环境中保持用户舒适度。
发现隐藏的细节: 快速检测缺陷并进行样本概览，以改进分析和决策。

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